3千瓦磁控管整机配对技术取得突破

更新日期：2025-06-11  点击量：200

军品装配厂连续波磁控管研发团队通过长时间的日夜奋战,在用户单位技术人员的大力支持下，用于半导体集成电路装备国产化替代的3千瓦连续波成对工作磁控管，于5月下旬取得重大突破，实现了与整机的成功对接。3千瓦连续波磁控管的成功应用，标志着我国在半导体装备领域，有望打破日本企业的长期技术垄断。

作为半导体集成电路制造装备的关键器件，3 千瓦连续波成对工作磁控管的制造工艺要求极其苛刻，成为制约我国半导体装备自主化进程的“卡脖子”难题。

为了打破国外技术垄断，服务于国家发展战略，加快国产化进程，公司成立了连续波磁控管研发团队，根据用户提出的性能指标参数，制订了工艺路线图，确定了关键工序和时间节点，进行技术攻关和工艺验证，定期召开团队碰头会，及时讨论研发过程中遇到的问题，经过研发人员废寝忘食的工作、反复验证、不断进行工艺优化和改进，进行模拟上机对接，成功研发出满足用户配对要求的3千瓦连续波磁控管。

根据项目进展规划，用户方将在完成6对磁控管的全周期耐久试验与参数稳定性验证后，正式启动批量生产订货流程。

下一步，军品装配厂将全力保障首批3千瓦成对磁控管的顺利供货，同步优化生产工艺流程，提升产品一致性与良品率，快速形成稳定可靠的批量交付能力；针对已突破的整机配对技术，深入开展应用验证与优化，重点提升成对磁控管在长期连续运行情况下的同步性、热匹配性及寿命一致性等关键指标，显著增强整机系统的工作稳定性和使用寿命；在完成首批6对磁控管验证的基础上，扩大验证范围与场景，积累更全面的运行数据，建立完善的3千瓦成对磁控管技术规范与测试标准体系，为大规模应用奠定坚实基础；在确保11月份前向客户提供200对3千瓦连续波磁控管的前提下，基于本次技术突破积累的经验，为未来更大功率等级磁控管的成对技术研发进行前瞻性储备。